[实用新型]探针卡清洗装置有效
| 申请号： | 201220610658.0 | 申请日： | 2012-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN203044417U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 牛刚;于建姝;赵晓东;刘冰冰;陈育浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种探针卡清洗装置，用于对探针卡的探针尖进行清洗，包括一个单侧开口的容器和分别设于所述容器开口两端的用于安装所述探针卡的两个支撑部，所述容器用于盛放清洗液，所述容器内侧壁上正对所述探针尖的位置设有超声波发生器。本实用新型通过设置一个放置清洗液的容器，同时在容器开口处设置支撑部实现对探针卡的固定，在所述容器内设置超声波发生器，配合容器中的清洗液实现对探针卡的清洗，从而避免了手工操作的危险性和对探针尖的损伤，提供一种能够对探针卡进行自动清洗的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡清洗装置，用于对探针卡的探针尖进行清洗，其特征在于：包括一个单侧开口的容器和分别设于所述容器开口两端的用于安装所述探针卡的两个支撑部，所述容器用于盛放清洗液，所述容器内侧壁上正对所述探针尖的位置设有超声波发生器。
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