[实用新型]半导体设备及其加热器电源控制系统有效
| 申请号： | 201220562242.6 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN202904411U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孙东曦;万红;赵辉 | 申请（专利权）人： | 中晟光电设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05F1/46 | 分类号： | G05F1/46;G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热器电源控制系统，包含：控制单元，与所述控制单元分别相连的多个并联电源，以及与所述多个并联电源分别相连的加热器；其中，所述控制单元用于计算加热器所需的目标功率或目标电流，并计算所述多个并联电源中各个电源相应的输出功率或者输出电流，以及，通知各个电源输出相应的输出功率或者输出电流；所述的各个电源用于输出相应的输出功率或者输出电流给加热器；本实用新型还公开了一种半导体设备，该半导体设备包含前述的加热器电源控制系统。本实用新型能够减少系统产生的误差，提高温度控制的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 及其 加热器 电源 控制系统 | ||
【主权项】：
一种加热器电源控制系统，其特征在于，包含：控制单元，与所述控制单元分别相连的多个并联电源，以及与所述多个并联电源分别相连的加热器；其中，所述控制单元用于计算加热器所需的目标功率或目标电流，并计算所述多个并联电源中各个电源相应的输出功率或者输出电流，以及，通知各个电源输出相应的输出功率或者输出电流；所述的各个电源用于输出相应的输出功率或者输出电流给加热器。
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