[实用新型]修复装置

摘要

提供一种能够使用一台装置对抗激光损伤能力不同的缺陷进行修正的修复装置。本实用新型的定位装置具备：载置台；摄像部，其拍摄对象物；第一缺陷提取部，其根据差图像数据提取缺陷；激光形状控制部，其设定激光照射范围；光源，其照射激光；第一光学系统，其对由上述激光形状控制部设定的照射范围照射激光；第二缺陷提取部，其根据差图像数据和亮度信息提取缺陷；第二光学系统，其对由上述第二缺陷提取部提取出的缺陷的一部分进行光点照射；以及切换部，其使从上述光源照射出的激光的光路在上述第一光学系统与上述第二光学系统之间进行切换。

主权项

一种修复装置，对载置在载置台上的对象物的缺陷进行修正，具备： 摄像部，其拍摄上述对象物； 缺陷提取部，其根据由上述摄像部拍摄到的图像数据与参考图案的差图像数据来提取抗蚀剂膜缺陷形状和异物缺陷形状； 激光形状控制部，其根据由上述缺陷提取部提取出的抗蚀剂膜缺陷形状设定激光的照射范围； 光源，其照射激光； 第一光学系统，其对由上述激光形状控制部根据上述抗蚀剂膜缺陷形状设定的照射范围照射从上述光源射出的激光； 该修复装置的特征在于，还包括： 第二光学系统，其根据由上述缺陷提取部提取出的异物缺陷形状的一部分以光点照射从上述光源射出的激光；以及 切换部，其使从上述光源照射出的激光的光路在上述第一光学系统与上述第二光学系统之间进行切换。