[实用新型]区熔单晶炉下轴运动机构

摘要

本实用新型涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种区熔单晶炉的下轴运动机构。该下轴运动机构包括外轴、支撑框、驱动丝杆、丝杆驱动电机、驱动托盘、花键轴、花键轴驱动电机、外轴旋转皮带轮组、外轴轴承、轴承仓组件和轴承仓旋转皮带轮组。本实用新型采用内、外轴联动的形式，可实现外轴的旋转和升降运动、内轴的升降运动和与外轴同步的旋转运动，能够满足区熔单晶炉籽晶引晶、晶体生长和旋转运动等生长要求，且运动可靠平稳，密封性能好，为区熔炉稳定拉制单晶提供保证。

主权项

一种区熔单晶炉下轴运动机构，包括外轴，其特征在于，所述下轴运动机构还包括支撑框、驱动丝杆、丝杆驱动电机、驱动托盘、花键轴、花键轴驱动电机、外轴旋转皮带轮组、外轴轴承、轴承仓组件和轴承仓旋转皮带轮组；所述支撑框上端和下端分别设有支撑顶板和支撑底板，支撑顶板和支撑底板之间设有驱动丝杆、花键轴和导向光轴，支撑顶板上设有丝杆定位套，所述驱动丝杆与支撑底板下端固定的丝杆驱动电机连接，所述花键轴与固定在支撑框上端侧面的花键轴驱动电机连接；在支撑框内部设有驱动托盘，驱动丝杆、花键轴和导向光轴分别贯穿驱动托盘，外轴下端连接驱动托盘；所述花键轴分为外轴旋转花键轴和内轴升降花键轴，外轴旋转花键轴通过外轴旋转皮带轮组带动外轴旋转；所述外轴旋转皮带轮组和外轴轴承之间设有外轴轴承定位套，在外轴轴承下端设有轴承压板，轴承压板固定在驱动托盘上；支撑顶板与下炉室连接处设有轴承仓组件，所述轴承仓组件与外轴旋转花键轴之间通过轴承仓旋转皮带轮组实现连接。