[实用新型]一种纯氧气氛退火装置

摘要

本实用新型公开了一种纯氧气氛退火装置，包括：石英管、供氧单元、压力控制仪、加热单元、温控仪、温度采集仪和电源；所述石英管，包括一可放置待退火原料的空腔；所述供氧单元，向石英管的空腔中供氧；所述压力控制仪，安装在供氧管上，控制所述供氧源向所述石英管的内腔提供预设压力的氧气；所述加热单元，向所述石英管的空腔提供热能；所述温度采集仪，采集加热单元的温度信号传输给温控仪；所述温控仪，根据所述温度采集仪输入的信号调节所述电阻丝的发热功率；所述电源，向所述加热单元供电。本实用新型纯氧气氛退火装置，适用于激光晶体和闪烁晶体等材料的纯氧气氛退火，退火效率高，温场稳定，简单可靠，通用性好，能耗低，降低了退火成本。

主权项

一种纯氧气氛退火装置，其特征在于，包括：石英管、供氧单元、压力控制仪、加热单元、温控仪、温度采集仪和电源；其中： 所述石英管，包括一可放置待退火原料的空腔、和所述空腔连通的进气口和出气口； 所述供氧单元，向所述石英管的空腔中供氧，包括供氧源、一端和所述供氧源连通且另一端和所述石英管的进气口连通的供氧管和安装在所述供氧管上控制供氧管开闭的阀门； 所述压力控制仪，安装在所述供氧管上，控制所述供氧源向所述石英管的内腔提供预设压力的氧气； 所述加热单元，向所述石英管的空腔提供热能，包括包围在所述石英管的空腔外的陶瓷管、缠绕在所述陶瓷管上的电阻丝； 所述温控仪，与所述电阻丝和温度采集仪电性连接，根据所述温度采集仪输入的信号调节所述电阻丝的发热功率； 所述温度采集仪，放置在加热单元中，采集加热单元的温度信号传输给温控仪；所述电源，向所述加热单元供电，和电阻丝通过导线连接。