[实用新型]一种载物台有效

专利信息
申请号: 201220439713.4 申请日: 2012-08-30
公开(公告)号: CN202749333U 公开(公告)日: 2013-02-20
发明(设计)人: 李莉 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种载物台,用于扫描电子显微镜扫描,所述载物台为半圆柱体。半圆柱体除了具有上下两个半圆形平面以及一个曲面之外,还具有一个截面,进行颗粒检测和平面检测时,待检测的物体都能够很好的用双面导电碳胶带粘贴在上面的半圆形平面上,将进行截面检测时,待检测的物体的截面朝上,其侧面具有较大的面积,将其侧面用双面导电碳胶带贴附在半圆柱体的截面上,增大了待测的物体的用于固定的面积,从而增加了待测的物体的稳定性,实现了进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上,并且能够实现颗粒检测、平面检测和截面检测三种检测同时进行。
搜索关键词: 一种 载物台
【主权项】:
一种载物台,用于扫描电子显微镜扫描,其特征在于,所述载物台为半圆柱体(1)。
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