[实用新型]一种X射线平板传感器及X射线平板探测器有效

专利信息
申请号: 201220384818.4 申请日: 2012-08-03
公开(公告)号: CN202796958U 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 李晓坤 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人: 王黎延;任媛
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种X射线平板传感器及X射线平板探测器,基于顶栅TFT结构形成X射线平板传感器及X射线平板探测器。包括基板、形成于基板一侧的顶栅型TFT和存储电容,所述存储电容包括第一ITO层、与所述第一ITO层形成存储电容的第二ITO层、用于输出电信号的第三ITO层、地线,所述第一ITO层与所述顶栅型TFT的漏电极和有源层直接连接,所述第二ITO层与所述地线直接连接,所述第三ITO层通过过孔与所述第一ITO层连接。简化了制备工艺,节省了一层钝化层。
搜索关键词: 一种 射线 平板 传感器 探测器
【主权项】:
一种X射线平板传感器,其特征在于,包括基板、形成于基板一侧的顶栅型TFT和存储电容,所述存储电容包括第一ITO层、与所述第一ITO层形成存储电容的第二ITO层、用于输出电信号的第三ITO层、地线,所述第一ITO层与所述顶栅型TFT的漏电极和有源层直接连接,所述第二ITO层与所述地线直接连接,所述第三ITO层通过过孔与所述第一ITO层连接。
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