[实用新型]一种开沟槽腐蚀机

摘要

本实用新型提供了一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，机体为长方体，机体中部固定有工作平台；循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上；凸轮抖动机构固定于机体上半部分；机械手连接凸轮抖动机构；配管系统固定在机体底部；储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。本实用新型提供的一种开沟槽腐蚀机，添加一套制冷系统，腐蚀效果好，提高了成品率，利用机械手对硅片在液面下自动上下抖动，硅片腐蚀均匀，且减轻了操作者的劳动强度，减少了有毒气体对人的侵蚀，同时大大提高了工作效率。

主权项

一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，其特征在于：所述机体为长方体，机体中部固定有工作平台；所述循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上；所述循环冷却腐蚀槽固定于工作平台的前端，盘管冷却腐蚀槽固定于工作平台的中部，常温腐蚀槽固定于工作平台的末端，快排槽固定于工作平台的底端；所述凸轮抖动机构固定于机体上半部分；所述机械手连接凸轮抖动机构；所述配管系统固定在机体底部；所述储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。