[实用新型]一种可调节的红外线灯组及加热装置有效
| 申请号： | 201220242610.9 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202709026U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 魏景峰;刘东;龙睿芬;李一吾 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F21V21/14 | 分类号： | F21V21/14;H05B3/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调节的红外线灯组，涉及半导体工艺技术领域。所述灯组包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；固定管固定在外延腔室内；加热器设置在固定管的内部；角度调节架的中部连接加热器，下部滑动连接纵向调节架的下部，用于调节加热器与固定管间夹角；纵向调节架的上部滑动连接固定管，用于调节加热器相对固定管的纵向位移。所述灯组及加热装置，通过角度调节架和纵向调节架，可以方便地调节加热器与待加热晶体间的距离和角度，从而可以方便地调节所述加热器的加热功率和辐射范围，能够作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀，从而得到性质均匀、高质量的外延层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 红外线灯 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种可调节的红外线灯组，其特征在于，包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；所述固定管固定在外延腔室内；所述加热器设置在所述固定管的内部；所述角度调节架的中部连接所述加热器，下部滑动连接所述纵向调节架的下部，用于调节所述加热器与所述固定管间夹角；所述纵向调节架的上部滑动连接所述固定管，用于调节所述加热器相对所述固定管的纵向位移。
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