[实用新型]一种在CVD设备中检测基板破片的装置

摘要

本实用新型公开了一种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置。本实用新型一种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断基板上是否有裂纹和破损；避免破损的基板进入CVD设备，损坏设备，影响生产。

主权项

一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，包括装载腔室(1)，装载腔室(1)的入口(2)的上方设有若干CCD镜头装置(3)。