[实用新型]一种对半导体产品的自动酸洗设备有效
| 申请号： | 201220149731.9 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN202643917U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 张燕青;龚海燕 | 申请（专利权）人： | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种对半导体产品的自动酸洗设备，包括清洗制具、驱动装置和控制器，所述控制器对所述清洗制具的清洗时间和振动频率进行控制，所述驱动装置提供动力给所述清洗制具。本实用新型的优点是通过自动化设备完成对多晶硅等半导体的清洗，与人工清洗的操作手法一致，自动化控制有利于提高酸洗品质的一致性，减少劳力，提高酸洗的生产效率，而且对整块材料可以直接清洗，减少材料损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对半 导体 产品 自动 酸洗 设备 | ||
【主权项】：
一种对半导体产品的自动酸洗设备，包括清洗制具（1）、驱动装置（2）和控制器（3），其特征在于：所述控制器（3）对所述清洗制具（1）的清洗时间和振动频率进行控制，所述驱动装置（2）提供动力给所述清洗制具（1）。
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