[实用新型]一种单晶随炉等温退火工装有效
| 申请号： | 201220134778.8 | 申请日： | 2012-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN202558975U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 倪代秦;吴星;赵岩;何丽娟;王雷;杨巍;马晓亮;李晋 | 申请（专利权）人： | 北京华进创威电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种单晶随炉等温退火工装，属于单晶制备技术领域，特别是涉及一种物理气相传输法单晶生长结束后的退火工装。包括坩埚，所述坩埚顶部设散热通道，在所述散热通道上方设置一保温塞，所述保温塞或坩埚可上下移动。与带着温度梯度降温、另行退火的现有技术相比，本实用新型不但可以大大减少单晶热应力、降低单晶出现裂纹的风险，而且单晶生长之后随炉退火完毕即可直接进行加工，从而简化了工艺、降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶随炉 等温退火 工装 | ||
【主权项】：
一种单晶随炉等温退火工装，其特征在于：包括坩埚，所述坩埚顶部设散热通道，在所述散热通道上方设置一保温塞，所述保温塞或坩埚可上下移动。
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