[实用新型]旋转式石英坩埚蚀刻清洗设备有效
| 申请号： | 201220124033.3 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN202539152U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 王向阳;加藤孝一 | 申请（专利权）人： | 上海东朋科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/32 | 分类号： | B08B9/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201700 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种旋转式石英坩埚蚀刻清洗设备，涉及一种工业清洗设备，由中心工作台、机座、转盘和清洗工作台组成，中心工作台上设置机座，机座连接转盘。清洗工作台环绕转盘置放。机座设有电机连接变速装置，变速装置连接中心主轴旋转，转盘连接侧视呈“Z”字形托架，转盘连接托架作360°旋转，托架位置与清洗工作台位置相对应。清洗工作台设有高压水喷淋装置和液体喷淋装置，高压水喷淋、氢氟酸、纯净水三道清洗工序连续作业，显著提高石英坩埚清洗质量和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 石英 坩埚 蚀刻 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种旋转式石英坩埚蚀刻清洗设备，由中心工作台、机座、转盘和清洗工作台组成，所述中心工作台上设置机座，所述机座连接转盘；所述清洗工作台环绕转盘置放；其特征在于，所述机座设有电机连接变速装置，所述变速装置连接中心主轴旋转；所述转盘连接侧视呈“Z”字形托架，所述托架位置与清洗工作台位置相对应；所述清洗工作台设有高压水喷淋装置和液体喷淋装置。
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