[实用新型]石英坩埚自动清洗装置有效
| 申请号： | 201220118458.3 | 申请日： | 2012-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN202610106U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 涂永文 | 申请（专利权）人： | 杭州先进石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。本实用新型的有益效果是：1)由传统的人工清洗改为自动清洗，对坩埚内外表面进行全方位、不留死角冲淋洗净，提高清洗效率和质量；2)每只坩埚均能保证在一致的冲淋压力、坩埚旋转速度、冲淋时间和冲淋喷嘴的条件下完成。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，其特征在于：所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。
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