[实用新型]一种净化多晶硅尾气的氢气纯化装置有效
| 申请号： | 201220103515.0 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN202569905U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 魏玺群;唐莉 | 申请（专利权）人： | 四川开元科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/053 | 分类号： | B01D53/053;C01B3/56 |
| 代理公司： | 北京君智知识产权代理事务所 11305 | 代理人： | 刘秀娟 |
| 地址： | 610063 四川省成都市锦江*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种净化多晶硅尾气的氢气纯化装置，包括真空泵、均压罐、缓冲罐、吸附塔、管道、程控阀和微机系统，其中所述吸附塔具有原料气进气口、产品气出气口、抽真空解吸气出口、逆放气出口、返充气进口和均压气进出口，所述抽真空解吸气出口通过真空泵相连到解吸气总管道，所述逆放气出口通过所述缓冲罐相连到解吸气总管道，所述均压气进出口与所述均压罐连接，所述返充气进口通过阀门与产品气总管道连接。本实用新型的装置可有效除去工业尾气中的氯硅烷、氯化氢、氮气、甲烷等杂质，获得高品质的产品氢气，具有设备小型化、投资低、能耗低、操作自动化、安全性更高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净化 多晶 尾气 氢气 纯化 装置 | ||
【主权项】：
一种净化多晶硅尾气的氢气纯化装置，包括真空泵（4）、均压罐（3）、缓冲罐（2）、吸附塔（1）、管道、设置在各管道上的程控阀（5）和用于控制所述程控阀（5）开闭状态的微机系统，其特征在于所述吸附塔（1）具有原料气进气口（21）、产品气出气口（24）、抽真空解吸气出口（22）、逆放气出口（23）、返充气进口（25）和均压气进出口（26），所述抽真空解吸气出口（22）通过真空泵（4）相连到解吸气总管道（8），所述逆放气出口（23）通过所述缓冲罐（2）相连到解吸气总管道（8），所述均压气进出口（26）与所述均压罐（3）连接，所述返充气进口（25）通过阀门与产品气总管道（7）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川开元科技有限责任公司，未经四川开元科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220103515.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能真空溶剂尾气高效回收节能装置
- 下一篇：钻机一级旋流除尘装置
