[实用新型]一种基板储运箱有效
申请号: | 201220069932.8 | 申请日: | 2012-02-28 |
公开(公告)号: | CN202601594U | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 董云;彭志龙 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基板储运箱,用以在收纳传送基板的同时,对储运箱中装载的基板进行破损检测,以及时发现基板破损情况。该基板储运箱包括箱盖、箱底及位于箱盖和箱底之间用于放置基板的基板储运箱,还包括检测控制设备、至少一个探测信号发生装置、至少一个探测信号接收装置和至少一个通报装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 储运 | ||
【主权项】:
一种基板储运箱,包括箱盖、箱底及位于箱盖和箱底之间用于放置基板的基板放置架,其特征在于,还包括检测控制设备、至少一个探测信号发生装置、至少一个探测信号接收装置和至少一个通报装置;所述探测信号发生装置,设置在所述箱盖/箱底上,用于发射出探测信号;所述探测信号接收装置,设置在所述箱底/箱盖上与所述探测信号发生装置相对应的位置处,接收所述探测信号发生装置发射出的探测信号;所述检测控制设备,分别与所述探测信号发生装置和所述探测信号接收装置相连接;通报装置,与检测控制设备相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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