[实用新型]一种力敏传感器结构

摘要

随着微电子技术的发展，利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性，研制出半导体力敏传感器，主要有硅压阻式和电容式两种，它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点，因此半导体力敏传感器得到广泛应用。本实用新型提供一种力敏传感器结构，包括固定端、柔性支撑杆、力探测端、检测电路，其中，柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探测端相连接；柔性支撑杆的结构为柔性的杆上镀有硅压阻材料，检测电路与柔性支撑杆上的硅压阻材料相连接。当力作用于力探测端时，柔性支撑杆发生弯曲，通过检测电路测出电阻的变化，进而探知力的大小。本实用新型采利用半导体硅材料大的压阻效应，通过杠杆实现力的放大，具有更高的灵敏度。

主权项

一种力敏传感器结构，包括固定端、柔性支撑杆、力探测端、检测电路，其特征在于：所述的柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探测端相连接；所述的柔性支撑杆的结构为柔性的杆上镀有硅压阻材料；所述的检测电路与柔性支撑杆上的硅压阻材料相连接。