[发明专利]位移测量系统

摘要

本发明提供一种位移测量系统，主要包括：一激光器，用以输出双频激光、一数据采集及处理单元及一回馈单元，所述回馈单元包括一第一反射镜及第二反射镜相对间隔且平行设置，所述第一反射镜具有一第一表面以直接接收入射激光，所述第一表面的法线与所述入射激光形成一夹角α，所述第二反射镜包括一第三表面、与所述第一表面相对的第四表面及第五表面，所述第三表面与所述第一表面相对且平行的，所述第三表面包括一反射区域及透射区域，所述反射区域设置有反射膜，所述透射区域设置有增透膜，所述第五表面与所述透射区域相对设置，且表面设置有反射膜并与所述第三表面形成一夹角β。

主权项

一种位移测量系统，主要包括：一激光器，用以输出双频激光；一数据采集及处理单元，用以接收激光器输出的干涉激光并进行数据处理；其特征在于，进一步包括一回馈单元，所述回馈单元包括一第一反射镜及第二反射镜相对且间隔设置，所述第一反射镜具有一第一表面以直接接收入射激光，所述第一表面的法线与所述入射激光形成一夹角α，所述第二反射镜包括一第三表面及与所述第三表面相对的第五表面，所述第三表面面对所述第一表面且与所述第一表面平行设置，所述第五表面背对所述第一表面设置，所述第五表面远离所述出射激光设置且具有反射膜，并与所述第三表面形成一夹角β，且在远离所述输出激光方向上逐渐靠近所述第三表面，所述第三表面包括一靠近所述入射激光的反射区域及远离所述入射激光的透射区域，所述反射区域设置有反射膜，所述透射区域设置有增透膜，从激光器入射到回馈单元的激光直接入射到第一反射镜，在第一反射镜与第二反射镜的反射区域之间经多次反射后，从所述透射区域入射到所述第五表面，并经第五表面反射后再沿原路返回所述激光器。