[发明专利]微机电系统有效
| 申请号： | 201210579786.8 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103185576B | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 亚历桑德鲁·罗基;阿道夫·詹巴斯蒂亚尼;洛伦佐·贝尔蒂尼 | 申请（专利权）人： | 马克西姆综合产品公司 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;B81B3/00;G01P15/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统，其用于检测围绕或沿X轴、Y轴和/或Z轴的加速度，具有基底且具有驱动模块和检测模块（1），所述驱动模块和检测模块在X‑Y平面内与所述基底平行地设置并且相对于所述基底可移动地安装。至少一个缝槽（5）设置在驱动和/或检测模块（1）中以补偿因为驱动和/或检测模块（1）中残余材料应力的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 | ||
【主权项】：
一种用于检测围绕或沿着X轴、Y轴和/或Z轴的加速度的微机电系统，其具有基底以及驱动模块和检测模块(1)，所述驱动模块和检测模块在X‑Y平面内与所述基底平行地安置并且相对于所述基底可移动地安装，多个孔(4)在驱动和检测模块(1)中设置，其特征在于，至少一个缝槽(5)在驱动和/或检测模块(1)中设置以补偿驱动和/或检测模块(1)中因残余材料应力造成的变形，至少一个缝槽(5)以驱动和检测模块(1)被至少部分地定位的方式被设置，所述多个孔(4)中的各孔(4)具有边缘，其中一些所述孔(4)通过至少一个缝槽(5)彼此连通，所述缝槽(5)包括一宽度，该宽度小于彼此连通的孔(4)的边缘长度。
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