[发明专利]双折射实时测量装置和测量方法无效
申请号: | 201210563666.9 | 申请日: | 2012-12-21 |
公开(公告)号: | CN103033478A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 曾爱军;刘龙海;朱玲琳;郑乐行;黄惠杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/23 | 分类号: | G01N21/23 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用于样品的双折射实时测量装置和测量方法,其特点在于该装置由准直光源、圆起偏器、分光镜、第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜、第一双象限探测器、第二双象限探测器和信号处理单元组成。本发明能实时测量样品的双折射,测量结果不受光源光强波动的影响。 | ||
搜索关键词: | 双折射 实时 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】:
一种用于样品的双折射实时测量装置,其特征在于该装置由准直光源(1)、圆起偏器(2)、分光镜(4)、第一渥拉斯顿棱镜(5)、第二渥拉斯顿棱镜(6)、第一双象限探测器(7)、第二双象限探测器(8)和信号处理单元(9)组成,其位置关系是:沿所述的准直光源(1)的光束前进方向,依次经过所述的圆起偏器(2)和分光镜(4),该分光镜(4)将入射光束分成透射子光束和反射子光束,透射子光束被所述的第一渥拉斯顿棱镜(5)分光检偏后由所述的第一双象限探测器(7)采集,所述的反射子光束被所述的第二渥拉斯顿棱镜(6)分光检偏后由所述的第二双象限探测器(8)采集,所述的第二渥拉斯顿棱镜(6)的一个透振方向与所述的第一渥拉斯顿棱镜(5)的一个透振方向所成的夹角为45°或‑45°,所述的第一双象限探测器(7)和第二双象限探测器(8)的输出端与所述的信号处理单元的输入端连接,在所述的圆起偏器和分光镜之间设置待测样品的插口(3)。
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