[发明专利]一种二氧化钒薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210561778.0 | 申请日： | 2012-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN103014701A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;单传丽;甘治平;王东;石丽芬;金良茂;张家林 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 倪波 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用原子层沉积设备制备二氧化钒薄膜的方法，包括以下步骤：将玻璃衬底清洗吹干后放置原子层沉积设备反应腔体中；用高纯氮气吹扫原子层沉积设备前驱体管路和反应腔体；设置原子层沉积设备反应腔体内反应温度为300-350℃；固态乙酰丙酮氧钒加热至100℃后以气态形式经前驱体管路进入反应腔体中，乙酰丙酮氧钒中的钒原子吸附在玻璃衬底表面；用高纯氮气吹扫前驱体管路和反应腔体；向反应腔体中通入高纯氧气，高纯氧气中的氧原子与玻璃衬底表面吸附的钒原子形成钒氧键，反应完全后，玻璃衬底表面沉积一层二氧化钒薄膜，重复上述步骤，即可形成厚度可控的二氧化钒薄膜，本发明成膜质量高，膜层相变性质显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将实验用玻璃衬底清洗和吹干后放置于原子层沉积设备反应腔体中；2）用高纯氮气吹扫原子层沉积设备前驱体管路和反应腔体；3）设置原子层沉积设备反应腔体内反应温度为300—350℃；4）固态乙酰丙酮氧钒加热至100℃后以气态形式经前驱体管路进入反应腔体中，气态乙酰丙酮氧钒与所述玻璃衬底表面发生化学吸附，使乙酰丙酮氧钒中的钒原子吸附在玻璃衬底表面；5）用高纯氮气吹扫前驱体管路和反应腔体；6）向反应腔体中通入高纯氧气，高纯氧气中的氧原子与所述玻璃衬底表面上吸附的钒原子形成钒氧键，待反应完全后，玻璃衬底表面沉积一层二氧化钒薄膜，重复上述步骤，即可形成厚度可控的二氧化钒薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司，未经蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210561778.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低速水泵
- 下一篇：一种可连续工作的充气泵
