[发明专利]一种自测量压电叠堆泵

摘要

本发明涉及一种自测量压电叠堆泵，属于微流体传输与控制领域。阀盖安装在泵盖上，泵盖安装在泵体上；在阀盖和泵盖之间粘接有悬臂梁型出口阀和进口阀，所述出口阀及进口阀均由压电薄膜和基板粘接而成；在泵盖和泵体之间压接有泵腔隔膜，泵腔隔膜两侧分别安装有活塞和顶块；活塞、泵盖、出口阀及进口阀共同构成泵腔；螺栓通过防扭挡块将压电叠堆压接在顶块上；压电叠堆、出口阀及进口阀分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。特色与优势：利用具有传感功能的单向阀直接测量压电泵的输出压力和流量、无需额外的传感器，故结构简单、测量精度的准确度及可靠度较高，且适于液体、气体以及气液混合物等不同介质的泵送过程中的实时监测。

主权项

一种自测量压电叠堆泵，其特征在于：阀盖通过螺钉安装在泵盖上，所述泵盖通过螺钉安装在泵体上；在所述阀盖和泵盖之间粘接有悬臂梁型出口阀和进口阀，所述出口阀及进口阀均由压电薄膜和基板粘接而成；在所述泵盖和泵体之间压接有泵腔隔膜，在所述泵腔隔膜的两侧通过螺钉分别安装有活塞和顶块；活塞以及安装于所述活塞上的密封圈、泵盖、出口阀及进口阀共同构成泵腔；安装在泵体端部的螺栓通过防扭挡块将压电叠堆驱动器压接在所述顶块上；所述压电叠堆驱动器、出口阀及进口阀分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。