[发明专利]一种高效新型蓝宝石晶体生长系统

摘要

本发明公开了一种高效新型蓝宝石晶体生长系统，包括炉壳，隔热层，发热体，钨坩埚，坩埚车，籽晶动作伺服机构，升降系统，称重系统，软件控制系统和安全保护系统，此种晶体生长系统生产效率高，节能明显，操作方便，使用安全，大大的降低了生产成本。

主权项

一种高效新型蓝宝石晶体生长系统包括炉壳，隔热层，发热体，钨坩埚，坩埚车，籽晶动作伺服机构，升降系统，称重系统，软件控制系统和安全保护系统，其特征在于，所述炉壳包括主炉壳，上炉盖和下炉盖，所述隔热层包括侧保温层，上保温层和下保温层，所述发热体分为侧发热体和底部发热体，所述侧发热体使用钨杆，水冷电极，通过铜盘悬挂于炉壳电极桩上，所述钨坩埚为烧结坩埚，纯度99.95％，所述坩埚车采用电动叉车，并配有坩埚位置微调系统，可实现坩埚在水平面上的二维移动，移动行程为0‑20cm，所述籽晶动作伺服机构包括籽晶升降系统伺服电机，籽晶升降丝杠，籽晶旋转电机，籽晶杆，止推轴承和波纹管，所述升降系统采用丝杠升降机构，并有限位器保证升降过程中的设备安全，所述称重系统使用压电称重传感器，所述软件控制系统分为电源控制，籽晶动作控制，观察窗视频显示和报警控制，所述安全保护系统由漏炉报警装置构成。