[发明专利]蒸汽递送容器和在容器内提供可汽化源材料的方法有效
| 申请号： | 201210532357.5 | 申请日： | 2005-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN103028270A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸汽递送容器和在容器内提供可汽化源材料的方法。该蒸汽递送容器包括：周边容器壁，限定内部容积；气体出口，与所述内部容积流体连通；以及至少一个支撑结构，设置于所述内部容积内且适合于在所述至少一个支撑结构内接收可汽化源材料并适合于支撑所述内部容积内的可汽化的固体源材料，其特征在于设置在所述内部容积内的所述至少一个支撑结构包括以下中的任一种：(i)筛网材料，以及(ii)多孔体，其中所述至少一个支撑结构被设置负载有所述可汽化源材料。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸汽 递送 容器 提供 汽化 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸汽递送容器，包括：周边容器壁，限定内部容积；气体出口，与所述内部容积流体连通；以及至少一个支撑结构，设置于所述内部容积内且适合于在所述至少一个支撑结构内接收可汽化源材料并适合于支撑所述内部容积内的可汽化的固体源材料，其特征在于设置在所述内部容积内的所述至少一个支撑结构包括以下中的任一种：(i)筛网材料，以及(ii)多孔体，其中所述至少一个支撑结构被设置负载有所述可汽化源材料。
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