[发明专利]高温环境下压力测试用高温陶瓷压力传感器及其加工方法

摘要

本发明涉及压力传感器领域，具体是一种高温环境下压力测试用高温陶瓷压力传感器及其加工方法。能够长时间在特殊高温环境下实现有效的压力测试。包括感压陶瓷件，感压陶瓷件内设密闭腔室，感压陶瓷件上、下平面上皆设电极层、平面螺旋电感，两电极层构成电容；电容与两平面螺旋电感串联形成LC回路。加工步骤含：a、流延；b、打孔；c、叠片、填充；d、层压、热切；e、高温烧结；f、印刷、低温烧结；g、空腔密封。本发明以全新角度设计和实现传感器敏感元件的具体结构，结构巧妙、合理，实现了基于LC谐振原理、以非接触性无线方式进行检测的无源无线高温陶瓷压力传感器，能够在300℃以上高温环境下长时间进行压力测试。

主权项

一种高温环境下压力测试用高温陶瓷压力传感器，其特征在于：包括用于敏感压力变化的感压陶瓷件（1），感压陶瓷件（1）内设有密闭腔室（2），感压陶瓷件（1）的上、下平面上与密闭腔室（2）正对的区域为压力敏感区；感压陶瓷件（1）上、下平面的压力敏感区表面分别设有电极层（3），两电极层（3）构成电容；感压陶瓷件（1）上、下平面上非压力敏感区的表面设有平面螺旋电感（4），平面螺旋电感（4）一端与同面电极层（3）相连，一端与另一面的平面螺旋电感（4）相连，两电极层（3）构成的电容与两平面螺旋电感（4）串联形成LC回路。