[发明专利]防止半自动探针台探针烧针的装置无效
| 申请号： | 201210497627.3 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103018500A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李瀚超;尹彬锋;赵敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。本发明的防止半自动探针台探针烧针的装置，结构简单、制作方便、使用和安装均较为简便。可以在测试介质的击穿电压时，防止探针因瞬间产生的过高温度而发生烧针现象，保障了探针的安全使用。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 半自动 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，其特征在于，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。
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