[发明专利]防止半自动探针台探针烧针的装置无效
| 申请号： | 201210497627.3 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103018500A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李瀚超;尹彬锋;赵敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防止 半自动 探针 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，其特征在于，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。
2.如权利要求1所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，还包括测试机座，所述测试机座的两端分别与所述源测量单元和探针相连，所述电阻元件设于所述测试机座中，所述电阻元件的两端分别与所述测试机座的两端相连。
3.如权利要求2所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，还包括与所述探针相连的介质，所述探针用于测试所述介质的击穿电压。
4.如权利要求3所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，所述源测量单元在测试时提供的电压为0.1-200V。
5.如权利要求4所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，所述电阻元件的电阻为0.1-10K欧姆。
6.如权利要求5所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，所述电阻元件的电阻为1K欧姆。
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