[发明专利]一种小型化刚性承载式快速反射镜

摘要

本发明涉及一种小型化刚性承载式快速反射镜，包括：平面反射镜、镜片压块、反射镜座、直线式音圈电机、关节轴承、轴承压环、圆螺母、电机支撑板、压缩弹簧、球面支撑座、弹簧座、调整垫片、滚珠、支撑基座、电容传感器。本发明的小型化刚性承载式快速反射镜，采用音圈电机直接推动反射镜支撑板，减小了快速反射镜Z轴方向的尺寸；4个小型电容传感器与4个音圈电机交错分布，减小了快速反射镜X、Y轴方向的尺寸；采用压缩弹簧实现球面支撑座和滚珠对快速反射镜运动部分的二次支撑，更易于系统装调与质量控制；采用电容传感器差动式测量，即系统每一次的反馈信息均由4个传感器差分获得，提高了控制系统的测量精度。

主权项

一种小型化刚性承载式快速反射镜，其特征在于，包括：平面反射镜（1）、镜片压块（2）、反射镜座（3）、4个音圈电机（4）、关节轴承（5）、轴承压环（6）、圆螺母（7）、电机支撑板（8）、压缩弹簧（9）、球面支撑座（10）、弹簧座（11）、调整垫片（12）、滚珠（13）、支撑基座（14）、4个电容传感器；每个音圈电机（4）分别包括线圈（41）和磁座（42）；电机支撑板（8）固连在支撑基座（14）的4个支柱（141）上，4个音圈电机（4）的磁座（42）以坐标原点O为中心成“十”字均匀固连在电机支撑板（8）的一侧表面，X、Y轴线上各2个，且距离坐标原点O的距离与4个电容传感器测量凸台（34）距离X或Y轴的距离相等；弹簧座（11）通过调整垫片（12）固连在电机支撑板（8）的另一侧表面；球面支撑座（10）位于弹簧座（11）的中心孔中，并将压缩弹簧（9）限制在弹簧座（11）与球面支撑座（10）之间；反射镜座（3）包括反射镜支撑板（31）、中心轴（32）、滚珠孔（33）和4个电容传感器测量凸台（34），中心轴（32）与电容传感器测量凸台（34）位于反射镜支撑板（31）的同侧，且中心轴（32）位于反射镜支撑板（31）的对称中心处；4个电容传感器测量凸台（34）以中心轴（32）为中心均匀分布于X、Y轴的第一对称线mm和第二对称线nn上；平面反射镜（1）通过镜片压块（2）固连在反射镜支撑板（31）的一侧表面，4个音圈电机（4）的线圈（41）以坐标原点O为中心成“十”字均匀固连在反射镜支撑板（31）的另一侧表面，X、Y轴线上各2个，且距离坐标原点O的距离与4个电容传感器测量凸台（34）距离X或Y轴的距离相等；圆螺母（7）与中心轴（32）通过螺纹连接，并将关节轴承（5）的内环（51）紧固在中心轴（32）上；轴承压环（6）与支撑基座（14）相固连，并将关节轴承（5）的外环（52）紧固在支撑基座（14）上。