[发明专利]基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器无效
| 申请号： | 201210472792.3 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102914373A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 杨晓苹;史光远;马华 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器。该传感器包括光学匹配系统，第一微柱透镜阵列，第二微柱透镜阵列；还包括分光镜，第一光电探测器和第二光电探测器；光学匹配系统用于将入射光波扩束，使入射光波的尺寸匹配微柱透镜阵列的通光口径；第一和第二微柱透镜阵列将入射光波分割成多束子光波，并分别聚焦到位于其焦平面的光电探测器靶面上。将第一光电探测器采集的图像与第二光电探测器采集的图像进行正交融合叠加，形成连续的网格状聚焦线斑。本发明在保证测量精度的前提下克服了传统哈特曼波前传感器的测量动态范围小的缺点，可广泛应用于大像差波前的探测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 透镜 阵列 哈特曼波前 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器，包括光学匹配系统(1)、第一微柱透镜阵列(3)和第二微柱透镜阵列(5)、分光镜(2)、第一光电探测器(4)和第二光电探测器(6)；其特征在于光学匹配系统(1)之后添加一个分光镜(2)，在分光镜(2)的透射端放置第一微柱透镜阵列(3)和第一光电探测器(4)，在分光镜(2)的反射端放置第二微柱透镜阵列(5)和第二光电探测器(6)；所述的光学匹配系统(1)对入射光波进行扩束，使入射光波的尺寸匹配微柱透镜阵列的通光孔径；所述的微柱透镜阵列实现波前孔径分割；所述的分光镜(2)将入射光波分为两束，一束经过第一微柱透镜阵列(3)后形成聚焦线斑阵列，聚焦线斑阵列被位于第一微柱透镜(3)焦平面处的第一光电探测器(4)采集；另一束经过第二微柱透镜阵列(5)后形成聚焦线斑阵列，聚焦线斑阵列被位于第二微柱透镜(5)焦平面处的第二光电探测器(6)采集。
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