[发明专利]氟类气体专用检漏装置的真空管理无效
| 申请号： | 201210453643.2 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103808464A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 金学江;徐克明 | 申请（专利权）人： | 上海石头电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/00 | 分类号： | G01M3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201700 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 高频磁场电离式的氟类气体专用检漏装置，其核心器件真空泵，在工作时，长期处于抽气和排气过程中，真空度理论要求值达到6.2×10-4Pa，要按照这样的真空度要求去配置真空泵，真空泵的价格较高，无法满足市场的需求。真空泵在实际使用中，只是在启动和工作状态时需要这样的真空度要求，其他情况下，0.5Pa真空度环境就可满足要求。按照这样的技术要求，我们设计了一个控制部分，在启动和工作状态时，瞬间关闭进气，继续排气，在瞬间达到真空度要求，达到了该检漏装置的工作要求。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 专用 检漏 装置 真空 管理 | ||
【主权项】：
用于高频磁场电离式的氟类气体专用检漏装置的真空管理，其特征在于在启动和进入分析状态时，瞬间关闭进气，达到需要的真空度环境要求。
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