[发明专利]能实现匹配的比例集成电阻版图结构

摘要

能实现匹配的比例集成电阻版图结构，减小了集成电路中比例电阻占用的面积，减小的面积来自相邻电阻满足光刻对准的间距要求。在电阻中插入悬空的接触孔图形，即虚假接触孔，可以替代光刻对准的间距要求和互连的金属图形，需要在比例电阻的比例项电阻中均插入虚假接触孔。在比例电阻中任意相邻接触孔之间的电阻块的几何尺寸完全相同，通过电阻块的串并联可以得到所需的电阻比例。

主权项

能实现匹配的比例集成电阻版图结构，其特征是采用虚假接触孔。