[发明专利]一种高低温真空校准装置及方法有效
| 申请号： | 201210451251.2 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102944358A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 孙雯君;冯焱;成永军;赵澜;马奔;马亚芳 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高低温真空校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：标准真空计、三通连接件、被校真空计、高低温真空校准室、监测真空计、温度控制板、制冷系统、抽气机组、阀门、供气系统、微调阀。所述装置及方法能够实现1×10-4Pa～1×105Pa范围内真空计在-140℃～+100℃温度范围内不同温度点的准确校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 真空 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高低温真空校准装置，其特征在于：所述装置包括：标准真空计（1）、三通连接件（2）、被校真空计（3）、高低温真空校准室（4）、监测真空计（5）、温度控制板（6）、制冷系统（7）、抽气机组（8）、阀门（9）、供气系统（10）、微调阀（11）；三通连接件（2）包括A、B、C三个开口端，其中，C端为进气端，C端位于A端和B端之间的直管的中间，与直管垂直，且C端到A、B两端的距离相等，A、B两端的内径相等，A端与标准真空计（1）连接，B端与被校真空计（3）连接，被校真空计（3）固定在温度控制板（6）上，温度控制板（6）与制冷系统（7）连接，三通连接件（2）、被校真空计（3）和温度控制板（6）置于高低温真空校准室（4）内，监测真空计（5）与高低温真空校准室（4）连接，抽气机组（8）通过阀门（9）与高低温真空校准室（4）连接，供气系统（10）通过微调阀（11）与高低温真空校准室（4）连接。
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