[发明专利]太赫兹波段光子晶体制作方法无效
| 申请号： | 201210446050.3 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103064146A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张文涛;林贤;马国宏;岳中岳;钟敏建;戴晔 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太赫兹波段光子晶体制作方法。本发明通过选择适当材料，利用飞秒微加工直写技术，分散加工，组装堆叠的方法，可以实现一维、二维或者三维太赫兹波段光子晶体的制作，可以方便的在制作的太赫兹波段光子晶体中添加缺陷。本发明制作的光子晶体对应的波段处于太赫兹波段，位于微波和红外波之间，光子晶体周期介质单元尺寸在百微米量级。本发明制作的光子晶体周期介质的单元形状规整，能够良好的对太赫兹波段电磁波进行调节控制，具有理想的太赫兹波段电磁波透射谱以及反射谱。本发明的制作方法，可以制作包括光子晶体在内的多种复杂结构的太赫兹波段光子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 波段 光子 晶体 制作方法 | ||
【主权项】：
一种太赫兹波段光子晶体制作方法，其特征在于操作步骤为：1）按照需要设计光子晶体的结构，将其分解为多层结构的叠加，得到每层的结构及其尺寸；2）选取薄片状介质材料作为光子晶体周期性介质材料，薄片状介质材料的厚度与步骤1）得到的各层的厚度相同；3）按照各层的结构，使用飞秒微加工直写技术对薄片状介质材料进行加工；4）组装带有结构的薄片状介质材料，得到一维、二维或三维的太赫兹波段光子晶体。
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