[发明专利]电迁移测试结构

摘要

本发明提供了一种电迁移测试结构，在现有的电迁移测试结构的基础上，于被测试导线上下表面间距预定距离的布线层形成两条监测线，用以监控及测量由电迁移形成的突起物在高度方向上引起的短路失效。

主权项

一种电迁移测试结构，包括位于第一布线层的被测试导线和第一短路监测线、位于第一布线层之上的第二布线层的两条检测导线；所述两条检测导线中的每一条均包括电流端和电压端，并且所述两条检测导线分别通过一个第一接触孔与被测试导线电连接，所述第一短路监测线包括一个漏电流测量端；所述第一短路监测线封闭环绕所述被测试导线，且所述第一短路监测线内边缘与对应的被检测导线边缘的间距皆为第一距离；其特征在于，所述电迁移测试结构还包括位于第三布线层的所述第二短路监测线和位于第四布线层的所述第三短路监测线；其中，所述第三布线层位于第一布线层和第二布线层之间，所述第四布线层位于第一布线层之下；所述第二短路监测线覆盖所述第一短路监测线的上表面，且所述第二短路监测线下表面与所述第一短路监测线的最小距离为第一间距，所述第一接触孔与所述第二短路监测线绝缘设置；所述第三短路监测线覆盖所述第一短路监测线的下表面，且所述第三短路监测线的上表面与所述第一短路监测线的下表面的最小距离为第一间距；所述第二短路监测线和第三短路监测线通过第二接触孔与第一短路监测线电连接。