[发明专利]新型晶片锯割系统无效
| 申请号： | 201210434317.7 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103056975A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚斯·施密特;安托万·曼尼斯;罗曼·毕尤·德·罗曼尼;理查德·费;弗兰克·哲南休 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及新型晶片锯割系统。描述了晶片锯割系统以及在晶片锯割系统中锯割铸锭的方法。该系统包括铸锭输入模块、铸锭输出模块、两个或更多线锯腔，其分别包括两个线引导圆筒；至少一个线，其被布置横跨两个所述线引导圆筒；支撑台，其被构造以接收单一铸锭；以及铸锭定位系统，其被构造以将布置在所述支撑台上的所述单一铸锭压靠至所述至少一个线；以及机器人，其被构造以在所述铸锭输入模块、所述两个或更多线锯腔中至少一者以及所述铸锭输出腔之间传输所述单一铸锭。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 晶片 系统 | ||
【主权项】：
一种晶片锯割系统，包括：铸锭输入模块；铸锭输出模块；两个或多个线锯腔，其分别包括两个线引导圆筒；至少一个线，其被布置横跨两个所述线引导圆筒；支撑台，其被构造以接收单一铸锭；以及铸锭定位系统，其被构造以将布置在所述支撑台上的所述单一铸锭压靠至所述至少一个线；以及机器人，其被构造以在所述铸锭输入模块、所述两个或更多线锯腔中至少一者以及所述铸锭输出腔之间传输所述单一铸锭。
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