[发明专利]位移检测装置和位移检测方法

摘要

本发明涉及一种位移检测装置、位移检测方法和计算机可读介质。光电式编码器包括发光元件、刻度尺、透镜、PDA和信号处理电路。该信号处理电路包括失真表、失真补偿电路和位置分析电路。该失真表是预先基于通过使用诸如透镜等的光学系统的设计值进行失真模拟所获得的失真信息计算得到的。该失真补偿电路基于该失真表和PDA的各PD的位置信息，通过虚拟地改变各PD的位置以消除因光学系统所引起的失真，从而对PDA的明/暗信号进行校正。该位置分析电路基于校正后的明/暗信号来分析刻度尺的位置。

主权项

一种位移检测装置，包括：刻度尺，其具有采用特定排列间距的刻度图案；光学系统，用于形成所述刻度图案的光学图像，其中所述光学系统包括发光元件，和用于形成所述刻度图案的光学图像的透镜；光接收元件阵列，其具有多个光接收元件，其中所述光接收元件被配置成能够相对于所述刻度尺移动，并且用于检测所述刻度图案的图像并输出根据所述刻度图案的图像所获得的明/暗信号；其特征在于，所述位移检测装置还包括失真补偿电路，用于基于各所述光接收元件的位置信息和根据所述光学系统的失真信息所获得的失真表，通过虚拟地改变各所述光接收元件的位置以消除因所述光学系统所引起的失真，从而对从所述光接收元件阵列输出的明/暗信号进行校正；以及位置分析电路，用于使用校正后的明/暗信号来分析所述刻度尺的位置，其中所述失真补偿电路用于通过消除包括透镜在内的所述光学系统引起的信号失真，从而对从所述光接收元件阵列输出的所述明/暗信号进行校正。