[发明专利]基于双哈特曼传感器的全光路像差校正系统及校正方法

摘要

一种基于双哈特曼传感器的全光路像差校正系统及校正方法，该校正系统包括高能激光器、波前校正器、分光镜、光束质量评价系统、内光路哈特曼传感器、第一哈特曼传感器、第二哈特曼传感器、数据融合组件和高压放大器；该校正方法基于上述校正系统，它利用两台哈特曼传感器同时测量分光镜的反射和透射像差，并采用不依赖于响应矩阵的数据融合方法将分光镜像差传递给内光路哈特曼传感器，从而控制波前校正器实现全光路像差校正。本发明具有原理简单、实现简便等优点，能够解决现有技术受器件构造工艺制约的问题，可提高多传感器之间的数据融合效率，可有效提升高能激光系统出口光束质量。

主权项

一种基于双哈特曼传感器的全光路像差校正系统，其特征在于：它包括高能激光器(1)、波前校正器、分光镜(4)、光束质量评价系统(5)、内光路哈特曼传感器(6)、第一哈特曼传感器(7)、第二哈特曼传感器(8)、数据融合组件和高压放大器(11)；所述波前校正器包括倾斜镜(2)和变形镜(3)，所述高能激光器(1)发出的高功率激光依次先后入射至倾斜镜(2)和变形镜(3)，再以一定角度入射至分光镜(4)的前表面，其中一部分能量被分光镜(4)反射至光束质量评价系统(5)中，另一部分能量透射光被内光路哈特曼传感器(6)接收并用于探测高能激光器(1)的内部像差；所述第一哈特曼传感器(7)和第二哈特曼传感器(8)置于分光镜(4)的前、后两侧并用于协同探测分光镜(4)的透射和反射像差，探测数据实时传送给数据融合组件，所述数据融合组件完成数据预处理后与内光路哈特曼传感器(6)的测量数据融合进而计算控制电压输出给高压放大器(11)，从而驱动波前校正器完成全光路像差校正。