[发明专利]一种晶体硅太阳能电池减反射膜

摘要

本发明公开一种晶体硅太阳能电池减反射膜，其特征在于包括在硅片表面依次沉积氮氧化硅膜层、二氧化钛膜层、氮化硅膜层和二氧化硅膜层。四个膜层的折射率从氮氧化硅膜层到二氧化硅膜层依次减小，所述四个膜层的厚度从氮氧化硅膜层到二氧化硅膜层依次增大。其中二氧化钛膜层对电池片生产过程中的大多数化学物质都有很好的化学稳定性，其折射率高和吸收率低，氮化硅膜层对硅片具有良好的钝化效果，二氧化硅膜层具有高损伤阈值和优良的光学性能，氮氧化硅具有氮化硅和氧化硅的优良特性，因此，本发明的减反射膜能够很好地提高光学转换效率。

主权项

一种晶体硅太阳能电池减反射膜，其特征在于包括在硅片表面依次沉积氮氧化硅膜层、二氧化钛膜层、氮化硅膜层和二氧化硅膜层。