[发明专利]位移检测装置

摘要

本发明涉及位移检测装置，该位移检测装置（1）包括：光源（2）、光束分离部（3）、衍射光栅（4）、反射部（6）、光束结合部（3）、光接收部（8）以及相对位置信息输出部（10）。衍射光栅（4）用于衍射由待测构件（9）的待测表面反射的第一光束（L1），并且使被衍射的第一光束（L1）再次入射在待测表面上。反射部（6）用于将由光束分离部（3）分离的第二光束（L2）反射至光束分离部（3）。光接收部（8）用于接收第一光束（L1）和第二光束（L2）的干涉光。相对位置信息输出部（10）用于基于接收到的干涉光的强度，输出待测表面在高度上的位移信息。

主权项

一种位移检测装置，包括：用于发光的光源；光束分离部，用于将从所述光源发出的光分离为入射在待测构件上的第一光束和用作参考光的第二光束；衍射光栅，用于衍射由所述光束分离部分离并且由所述待测构件的待测表面反射的所述第一光束，并且使被衍射的所述第一光束再次入射至所述待测构件的待测表面上；反射部，用于反射由所述光束分离部分离的所述第二光束；光束结合部，用于将由所述衍射光栅衍射并且由所述待测表面再次反射的所述第一光束与由所述反射部反射的所述第二光束彼此叠加；光接收部，用于接收由所述光束结合部叠加的所述第一光束和所述第二光束的干涉光；以及相对位置信息输出部，用于基于由所述光接收部接收到的所述干涉光的强度，输出所述待测表面在高度方向上的位移信息。