[发明专利]一种测量薄膜热电性能参数的装置和方法

摘要

本发明涉及一种测量薄膜热电性能参数的装置和方法，本装置主体包括有：测温电阻、热沉、电流源、载物台、数据采集装置、计算机、控温箱、电压表；待测样品固定在载物台上；待测样品的一条边连接一个热沉，另外三条边分别连接一个测温电阻；利用电流源控制测量装置所需的电流，并利用数据采集装置实时监测记录薄膜热电材料的各项性能参数。本发明的优点在于能够利用同一套装置同时测量不同形状薄膜热电材料的热导系数、塞贝克系数、电导系数以及热电优值，并把测量得到的热电优值和公式计算值进行比较；测量全程采用四线制，基本没有接触电阻的影响。本装置和方法原理简单，操作方便，体积小巧，测试功能多，测量精度高。

主权项

一种测量薄膜热电性能参数的装置，包括：测温装置（2、3、4）、数据采集装置（8）、热沉（1）、电流源（7）、载物台（5）、计算机（9）、控温箱（10）和电压表（6），其特征在于：所述待测样品固定在载物台（5）上；待测样品的第一个接触点（1′）连接热沉（1），另外第二、第三、第四三个接触点（2′）、（3′）、（4′）分别各连接一个测温装置，电源（11）经控温箱（10）连接至电流源（7），电流源（7）连接至热沉（1）,测温装置a（2），测温装置b（3）和测温装置c（4）连接电压表（6），电流源（7）和电压表（6）连接至数据采集装置（8），数据采集装置（8）的输出连接至计算机（9）；电流源（7）提供测温装置（2、3、4）所需要的电流，输入直流或交流信号；第三接触点（3′）和第四接触点（4′）之间连一个电压表（6），用来测量两个接触点之间的电势差；利用数据采集装置（8）实时监测记录实验所需的各项参数；利用计算机（9）对数据进行分析处理，得到待测薄膜的热导率、电导率、塞贝克系数和热电优值。