[发明专利]一种清除液体中气泡的结构

摘要

本发明涉及芯片制造用基片加工过程中化学品供应的管路结构，具体地说是一种清除液体中气泡的结构，包括内部带有分隔桶的缓存罐、接负压管、进液管及出液管，其中缓存罐的底部设有出液口、上部设有排气口、罐壁上开有进液口，出液口位于分隔桶内；所述出液口、排气口及进液口分别连通有出液管、接负压管及进液管，各管路上分别安装有与控制装置相连的阀体；所述缓存罐的罐壁上分别设有与控制装置相连的上位传感器及下位传感器。本发明通过不同时间开闭不同阀门及带有分隔桶的缓存罐结构实现了低成本即可清除气泡，结构简单，分隔桶能很好地让气泡和液体分离。

主权项

一种清除液体中气泡的结构，其特征在于：包括内部带有分隔桶（2）的缓存罐（8)、接负压管（5)、进液管（11）及出液管（13），其中缓存罐（8）的底部设有出液口（1)、上部设有排气口（7)、罐壁上开有进液口（9），出液口（1）位于分隔桶（2）内；所述出液口（1)、排气口（7）及进液口（9）分别连通有出液管（13)、接负压管（5）及进液管（11），各管路上分别安装有与控制装置相连的阀体；所述缓存罐（8）的罐壁上分别设有与控制装置相连的上位传感器（4）及下位传感器（3）。