[发明专利]红外热检测器及其制造方法有效
| 申请号： | 201210382042.7 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103033269B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 朴海锡;南圣炫;申昶均;金桢佑 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 翟然 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种红外热检测器及其制造方法。该红外热检测器包括：基板；检测器，与基板间隔开，经由局域表面等离子体共振吸收入射红外光，并根据由所吸收的红外光引起的温度变化来改变电阻值；以及热支路，将来自检测器的信号传输到基板。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 检测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种红外热检测器，包括：基板；检测器，与所述基板间隔开，经由局域表面等离子体共振吸收入射的红外光，并根据由所吸收的红外光引起的温度变化来改变电阻值，其中所述检测器包括：金属层，具有一结构，该结构被图案化使得入射的红外光经由所述局域表面等离子体共振被吸收，该结构的长度或宽度具有等于或小于关于所述红外光的波长λ的λ/2的尺寸，以及热电材料层，形成在所述金属层的底部以包括将所吸收的红外光引起的温度变化转换为电阻变化的材料；以及热支路，将来自所述检测器的信号传输到所述基板。
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