[发明专利]裸片供给机

摘要

本发明提供一种裸片供给机，提高从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机的实用性。在向拾取头具有的多个吸嘴被安装工具分别安装有多个吸嘴的裸片供给机上，设置收容所述多个吸嘴（44）的吸嘴收容装置（100）。并且，将该吸嘴收容装置以所述多个吸嘴与多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，在该吸嘴收容装置设有为了向拾取头的同时安装而使所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构（120）、（122）、（124）、（126）、（128）。能够迅速地安装多个吸嘴，能够实现拾取头的结构的简单化、轻量化。

主权项

一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有使所收容的所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构，所述吸嘴升降机构具有能够旋转的杆组件和使该杆组件旋转且升降的杆组件动作机构，所述杆组件具有在某旋转位置能够与所述多个吸嘴被安装工具卡合的多个杆和在与该某旋转位置不同的旋转位置能够仅与所述多个吸嘴被安装工具中的一个卡合的一个杆，所述吸嘴升降机构构成为能够使所述多个吸嘴同时升降且能够使所述多个吸嘴中的被任意选择的一个吸嘴升降，通过所述吸嘴动作机构能够使收容于所述吸嘴收容装置的多个吸嘴同时动作且通过所述杆组件动作机构能够使所述多个吸嘴被安装工具同时升降，从而能够将该多个吸嘴同时安装于该多个吸嘴被安装工具，通过所述吸嘴动作机构能够使收容于所述吸嘴收容装置的多个吸嘴同时动作且通过所述杆组件动作机构能够使所述多个吸嘴被安装工具中的被任意选择的一个吸嘴被安装工具升降，从而能够将该多个吸嘴中的一个吸嘴安装于选择的该一个吸嘴被安装工具。