[发明专利]裸片供给机

说明书

技术领域

本发明涉及从切割晶圆而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机。

背景技术

从裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机例如有下述专利文献所记载的结构，通过拾取头具有的吸嘴吸附保持裸片，使拾取头移动，将拾取头移动保持的裸片供给至规定的供给位置。多数情况下，该被供给的裸片通过部件安装机安装到基板上。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2010-129949号公报

发明内容

为了提高安装有裸片的裸片安装品的制造速度，需要提高基于裸片供给机的裸片的供给速度（每单位时间能够供给的裸片的数量），因此也研究了在拾取头装备多个吸嘴的技术。另一方面，例如从能够应对各种尺寸的裸片的理由出发，希望在裸片供给机上能够更换吸嘴。因此，在装备多个吸嘴的情况下，要求更换并安装多个吸嘴。对于该多个吸嘴的安装的技术，留有改良的余地，通过悉心钻研，能够提高具备多个吸嘴的裸片供给机的实用性。本发明鉴于这样的实际情况而做出，其课题是提供实用性高的裸片供给机。

为了解决上述课题，本发明的裸片供给机的特征在于，在收容安装于拾取头的多个吸嘴的收容装置设有吸嘴动作机构，该吸嘴动作机构为了将所述多个吸嘴同时安装于拾取头而使所述多个吸嘴同时动作。

【发明效果】

根据本发明的裸片供给机，能够在拾取头迅速安装多个吸嘴，另外，不需要为了该安装而将使吸嘴动作的机构设于拾取头，因此能够实现拾取头的结构的简单化、轻量化。由于具有这些优点，本发明的裸片供给机的实用性高。

【发明的方式】

以下，例示了几个本申请中认为能够申请专利的发明（以下有时称为“可申请发明”）的方式，对它们进行说明。各方式与技术方案同样，以如下的形式记载：区分为项，并对各项标注编号，根据需要引用其他项的编号。这只是为了易于理解可申请发明，并不是将构成这些发明的构成要素的组合限定于以下的各项所记载的内容的意思。即，可申请发明应参考各项附属的记载、实施例的记载等而解释，只要按照该解释，对各项的方式进一步附加其他构成要素的方式、或从各项的方式删除某一构成要素的方式也能成为可申请发明的一方式。

以下的各项中，（1）项相当于技术方案1，（2）项相当于技术方案2，（5）项～（9）项相当于技术方案3～技术方案7。

（1）一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：

裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；

拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；

头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及

吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有为了使所收容的所述多个吸嘴同时安装于所述多个吸嘴被安装工具而使所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构。

根据本项的方式的裸片供给机，收容于吸嘴收容装置的多个吸嘴的相对位置关系和多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相等。即，多个吸嘴的相对位置关系在所述多个吸嘴安装于拾取头的情况下和收容于吸嘴收容装置的情况下相等。因此，在多个吸嘴的安装时，仅通过利用头移动装置、吸嘴升降机构，就能够使收容于吸嘴收容装置的多个吸嘴同时相对于多个吸嘴被安装工具成为卡合状态或成为临近卡合之前的状态。在吸嘴的安装时，需要使成为卡合状态的吸嘴固定于吸嘴被安装工具等，但在本项的方式的裸片供给机中，作为对于多个吸嘴同时进行为了该固定等而进行的吸嘴的动作、详细地说相对于吸嘴被吸附工具的相对动作的机构，设有上述吸嘴动作机构。因此，根据本项的方式的裸片供给机，能够迅速地将多个吸嘴自动地且迅速地安装于拾取头。另外，在本项的方式的裸片供给机中，上述吸嘴动作机构设于吸嘴收容装置，因此不需要将该机构设于拾取头，实现了拾取头的结构的简单化、轻量化。通过具有该优点，本项的方式的裸片供给机成为实用性高的结构。