[发明专利]一种阻抗匹配飞片及其在激光驱动飞片柔性成形中的应用

摘要

本发明涉及微机电系统制造技术领域，特指一种阻抗匹配飞片及其在激光驱动飞片柔性成形中的应用。本发明以阻抗z和飞片厚度之间的关系式为依据：Z(x)=2.245+a；系数a在0.46-0.52之间，制备时使用高纯的W、Mo、Ti、Fe、Ni、A1和Cu金属粉末，将原料粉末按设计配比混合均匀后，依阻抗变化顺序层铺于石墨模具中，通过控制不同配比的粉末混合铺填来消除飞片内部阻抗值的跃变，在通有流动氢气的高温炉中进行热压烧结制得阻抗匹配飞片。使用阻抗匹配飞片对工件进行柔性冲击，与激光驱动飞片刚性冲击工件相比，冲击过程所引起工件温升大大减小，保证了加工时热敏工件的性能，避免了以往存在的工件表面烧蚀破坏或刻蚀现象，提高了工件的成形质量。

主权项

1.一种阻抗匹配飞片，其特征在于：所述飞片的阻抗z和飞片厚度之间的关系式为：Z(x) = 2. 245+a；式中Z(x)为飞片任意厚度坐标x处的阻抗值, 系数a在0.46-0.52之间，选择W-Mo-Ti金属复合体系来制备阻抗匹配飞片，选择Fe-Al粉作为烧结助剂，同时选用Ni-Cu作为添加剂，使用高纯的W、Mo、Ti、Fe、Ni、A1和Cu金属粉末，将原料粉末按配比混合均匀后，依阻抗变化顺序层铺于石墨模具中，通过控制不同配比的粉末混合铺填来消除飞片内部阻抗值的跃变，在通有流动氢气的高温炉中进行热压烧结制备而得。