[发明专利]正型感光性树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案、MEMS结构体制造方法、干及湿蚀刻方法有效
| 申请号： | 201210353259.5 | 申请日： | 2012-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN103019034A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 下野胜弘;米泽裕之 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案、MEMS结构体制造方法、干及湿蚀刻方法。所述正型感光性树脂组成物即使在对所形成的图案进行烘烤后，也能形成矩形或接近矩形的轮廓。本发明使用正型感光性丙烯酸系树脂，该正型感光性丙烯酸系树脂在主链末端上含有羧基，且含有具有3元环及/或4元环的环状醚基的重复单元，在碱性显影液中为不溶或难溶性，且通过酸的作用而变得可溶于碱性显影液中。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 硬化 及其 制造 方法 图案 mems 结构 体制 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种正型感光性树脂组成物，其特征在于，含有丙烯酸系树脂，该丙烯酸系树脂在主链末端含有羧基，且含有具有3元环及/或4元环的环状醚基的重复单元，在碱性显影液中为不溶或难溶性，且通过酸的作用而变得可溶于碱性显影液中。
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