[发明专利]涂覆设备和涂覆方法有效
| 申请号： | 201210342345.6 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN103008175A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 石原治彦;佐藤强;大城健一 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B05C9/00 | 分类号： | B05C9/00;B05C11/10;B05C13/02;B05B13/04;B05D1/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 舒雄文;蹇炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据实施例，一种涂覆设备包括：台，其支撑被涂覆对象；以及涂覆头，其整体包括材料释放单元和气体喷射单元，所述材料释放单元能够相对于所述台移动并且配置为向所述台上的所述被涂覆对象释放涂覆材料，所述气体喷射单元与所述材料释放单元一起能够相对于所述台移动并且配置为向所述台上的所述被涂覆对象喷射气体。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种涂覆设备包括：台，其支撑被涂覆对象；以及涂覆头，其整体包括材料释放单元和气体喷射单元，所述材料释放单元能够相对于所述台移动并且配置为向所述台上的所述被涂覆对象释放涂覆材料，所述气体喷射单元与所述材料释放单元一起能够相对于所述台移动并且配置为向所述台上的所述被涂覆对象喷射气体。
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B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
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B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
