[发明专利]基于全息干涉术的光子晶体制造装置有效
| 申请号： | 201210332492.5 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102798930A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 任雪畅;沈少鑫;李彦双;刘守 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138;G02B5/32;G03F7/20 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森;刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 基于全息干涉术的光子晶体制造装置，涉及光子晶体制造装置。依次设有激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板；激光器发出的激光经过空间滤波器的扩束后照射到全息光学元件上，经全息光学元件产生四束相干的干涉光束，1/2波片置于全息光学元件的其中1个出光口之后，入射1/2波片的线偏振光的振动方向与1/2波片晶体表面光轴间的角度为设定值，四束光重叠射在光刻胶板上，在光刻胶板上对四束光重叠的干涉结构进行单次曝光，经显影流程得大面积周期性间隙阵列结构的光子晶体。所述入射1/2波片的线偏振光的振动方向与1/2波片晶体表面光轴间的角度的设定值为15°～23.5°。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 全息 干涉 光子 晶体 制造 装置 | ||
【主权项】：
基于全息干涉术的光子晶体制造装置，其特征在于依次设有激光器，空间滤波器，全息光学元件，1/2波片和光刻胶板；激光器发出的激光经过空间滤波器的扩束后照射到全息光学元件上，经全息光学元件产生四束相干的干涉光束，1/2波片置于全息光学元件的其中1个出光口之后，入射1/2波片的线偏振光的振动方向与1/2波片晶体表面光轴间的角度为设定值，四束光重叠射在光刻胶板上，在光刻胶板上对四束光重叠的干涉结构进行单次曝光，经过显影的流程即可得到大面积周期性间隙阵列结构的光子晶体。
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