[发明专利]滤波器用膜系结构及使用该膜系结构的三波段滤波器有效

专利信息
申请号: 201210331999.9 申请日: 2012-09-10
公开(公告)号: CN102879847A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 王一坚 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20;B32B9/04
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 牛爱周
地址: 471009 *** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种滤波器用膜系结构及使用该膜系结构的三波段滤波器,该滤波器用膜系结构为(αHβL)^N|Sub|(LH)^N,其中,Sub为基底,H为ZnS膜层,L为YbF3膜层,N为周期数,α和β为膜层光学厚度系数。本发明的滤波器用膜系结构敏感性弱,易于镀制;且膜层具有机械强度高、内应力匹配好,与基底结合性能强等优点。采用该膜系结构的三波段滤波器实现了对1.064μm和1.57μm波长激光的微透射,透射率满足:7%≤T≤13%;同时对7.7~10.5μm波段高透射,平均透射率T平均≥98%。
搜索关键词: 滤波 器用 结构 使用 波段 滤波器
【主权项】:
一种滤波器用膜系结构,其特征在于:所述的膜系结构为(αHβL)^N|Sub|(LH)^N其中,Sub代表基底,H为ZnS膜层,L为YbF3膜层,N为周期数,α和β为膜层光学厚度系数。
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