[发明专利]滤波器用膜系结构及使用该膜系结构的三波段滤波器有效
申请号: | 201210331999.9 | 申请日: | 2012-09-10 |
公开(公告)号: | CN102879847A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 王一坚 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;B32B9/04 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 牛爱周 |
地址: | 471009 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种滤波器用膜系结构及使用该膜系结构的三波段滤波器,该滤波器用膜系结构为(αHβL)^N|Sub|(LH)^N,其中,Sub为基底,H为ZnS膜层,L为YbF3膜层,N为周期数,α和β为膜层光学厚度系数。本发明的滤波器用膜系结构敏感性弱,易于镀制;且膜层具有机械强度高、内应力匹配好,与基底结合性能强等优点。采用该膜系结构的三波段滤波器实现了对1.064μm和1.57μm波长激光的微透射,透射率满足:7%≤T≤13%;同时对7.7~10.5μm波段高透射,平均透射率T平均≥98%。 | ||
搜索关键词: | 滤波 器用 结构 使用 波段 滤波器 | ||
【主权项】:
一种滤波器用膜系结构,其特征在于:所述的膜系结构为(αHβL)^N|Sub|(LH)^N其中,Sub代表基底,H为ZnS膜层,L为YbF3膜层,N为周期数,α和β为膜层光学厚度系数。
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