[发明专利]三维微驱四电极可置换探头

摘要

本发明公开了一种三维微驱四电极可置换探头。该探头包括四电极探针座和与其配套的三维微驱四电极底座。本发明在四电极探针座的针尖架螺纹杆底部，采用陶瓷绝缘片隔离的三个铜电极，与针尖架螺纹杆一起分别和内置于三维微驱四电极底座的扫描管内壁的四个电极相接触，并由四束铜导线引出作为测量时的输入输出端子。本发明的三维微驱四电极底座所含扫描管的内壁上部的螺纹也可以安装扫描隧道显微镜的探针针架，实现了四探针输运测量和单探针表面扫描的兼容。本发明的直插与螺纹相结合的结构使得电极接触稳定牢固，能够经受频繁更换使用的磨损。

主权项

一种三维微驱四电极可置换探头，包括：四电极探针座；与所述四电极探针座配套的三维微驱四电极底座；其特征在于，所述四电极探针座的中部及所述三维微驱四电极底座的上段均带有螺纹电极，所述四电极探针座的中部的螺纹与所述三维微驱四电极底座的上段的螺纹相互匹配以使所述四电极探针座可自由地旋入或旋出所述三维微驱四电极底座；所述四电极探针座在其顶部还包括中心留有四电极插槽的针尖架以及与所述四电极插槽匹配的四探针集成片；所述三维微驱四电极底座还包括三维粗驱动的压电陶瓷步进电机和三维微驱动的压电陶瓷扫描管。